ULVAC干式真空泵NRL180A卡死維修

愛(ài)發(fā)科NRL180A干式螺桿真空泵一般用于排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處

理、液晶注入等），排出非活性氣體行業(yè)對泵的腐蝕性很大，大多數真空泵都是因為腐

蝕后轉數慢，影響到生產(chǎn)效率，需要專(zhuān)業(yè)的廠(chǎng)家維修，東莞比其爾真空承接愛(ài)發(fā)科

NRL180A干式螺桿真空泵維修。

針對真空泵腐蝕的修復方法：

*清除表面氧化層，用丙酮將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護，專(zhuān)業(yè)

的安裝方式完工。

愛(ài)發(fā)科NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化，除PVD工藝外，龍其適用于希望提高流量，縮

短非氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。

愛(ài)發(fā)科真空泵NRL180A特點(diǎn)：

低噪音、低振動(dòng)、*的耐腐蝕性。

標準零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對府蝕性氣體排氣時(shí)泵

體內部的腐蝕程度。

隨泵配送選購件：

可選購消音器、冷卻水流量開(kāi)關(guān)、氮氣流量開(kāi)關(guān)、泵溫傳感器。

適用于行業(yè)：

活性氣體（CVD/刻蝕等）

排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）

用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單品爐等）

可用前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）

冷凍干燥等水蒸氣排氣。

真空泵維修流程安排：

*、初步了解真空泵現狀

服務(wù)：如有需要，會(huì )在24小時(shí)內派出專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員趕赴現場(chǎng)確認真空泵故障。

第二、確定真空泵故障原因

服務(wù)：真空泵確認了解故障原因后，擬定出具體維修方案與周期、甲乙雙方簽定協(xié)議

后，珠三角地區甲方安

排人員上門(mén)提泵，其他區域客戶(hù)可以選擇物理快遞。

第三、真空泵拆開(kāi)報價(jià)

服務(wù)：為了讓客戶(hù)更清晰的知道維修費用，比其爾會(huì )給出詳細的維修清單及費用明細

第四、確認真空泵維修

服務(wù)：客戶(hù)同意維修費用后開(kāi)始維修，維修后所換配件全部還客戶(hù)。

第五、真空泵維修完畢后試機，一般測試時(shí)間是24小時(shí)。

服務(wù)：確保維修過(guò)后達到的真空度和穩定性能，真空度達到出廠(chǎng)標準。

第六、配送真空泵上門(mén)安裝調試

服務(wù)：在試機OK后24小時(shí)內，客戶(hù)可當初驗收真空泵，看試機運轉效果。

第七、統一質(zhì)保修六個(gè)月，定期回訪(fǎng)、并提供免費技術(shù)支持。

服務(wù)：東莞比其爾維修過(guò)的每臺真空泵都會(huì )記入檔案，我們會(huì )定期根據后期使用情況做

出回訪(fǎng)工作。

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